产品特性：可实现电子级特殊气体的持续不间断安全供应。主要采用PLC控制，触控屏为人机界面或数显按钮式操作界面。

主要特点：自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断。

适用场合：主要适用于IC、TFT、Solar、LED等工厂特气的供气需求。

适用气体：易燃/自燃性、腐蚀性、毒性，如SIH4,NF3,NH3,N2O,HCL等。

气源供应方式：Cylinder