产品特性：可实现电子级气体的持续不间断安全供应；主要采用PLC控制，触控屏为人机界面或数显按钮式操作界面。

主要特点：自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断。

适用场合：主要适用于IC 、TFT 、Solar 、LED等工厂惰性气体的供气需求。

适用气体：惰性，如CF4,SF6,CHF3,Ar,He等。

气源供应方式：Cylinder