U22系列减压器

U22 系列单级减压器清洁气体，压力稳定。 可应用于非腐蚀性气体，腐蚀性气体，和有毒气体。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。

结构特点：

• 316L 不锈钢母体

• 膜片式硬密封，泄漏率低

• 可采用面板安装和后座安装

• 压力表标准连接： 1/4” FSR (M)

• 可选：1/4” FSR (F)

• 内部电解抛光

• 高清洁的组装和包装适用于高纯洁度的半导体产业

• 使用寿命长

• 经过氦气测试

材质：

• 母体：316L

• 阀座：PCTFE, Vespel^®

• 膜片：316L, 哈氏合金

功能特性：

• 流量：Cv=1.1

• 母体泄漏率：2×10^-9 atm cc/sec He

• 阀座泄漏率：4×10^-8 atm cc/sec He

• 设计验证压力：最大额定压力的150%

• 设计爆破压力：最大额定压力的400%

工作条件：

• 最大进气压力：500, 3000 psi

• 最大出气压力：25, 50, 100, 250, 500 psi

• 工作温度：-40°C ~ 74°C (-40°F ~ 165°F)

流道表面：

• 标准：Ra 20µin

• 可选：Ra 10µin

内部容积：

• 22.6cc

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流量特性曲线

安装尺寸图